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Overview PLASMART's advanced design Performance Specifications
Physical Specifications Electrical Specifications Product Category


PathFINDER™ series는 RF전력을 사용하여 발생시키는 플라즈마
임피던스를 50Ω특성 임피던스에 자동으로 매칭 시켜주는 장비입니다.
DSP로 정밀하게 제어되는 디지털 시스템으로 데이터의 신뢰성 및
매칭의 재현성을 보장하고 있습니다.
PathFINDER™와 함께 제공되는 Windows기반의 사용자 소프트웨어인
PathFINDER™ User Interface(PFUI™)는 장비를 제어하거나 설정값을
재현성 있게 관리할 수 있으며 매칭 시간과 매칭 과정을 모니터링
할 수 있습니다.

또한 탑재된 Trijet™센서는 주파수 선택적(frequency-selective)
측정기 법인 lock-in detection을 통하여 실시간 변화하는 임피던스와
forward/reflected power를 정확하게 측정함으로써 정밀한 매칭을
가능하게 해줍니다. 매칭의 과정을 통제하는 AnyMatch™알고리즘은
명료한 모델링과 강력한 수학적 계산을 통하여 신속하고 일관된 매칭
성능을 보여줍니다. 그리고 별도의 마이크로 프로세서에 의해 제어되는
스텝 모터 시스템은 강한 힘과 정밀한 제어를 동시에 가능하게 합니다.

Trijet™센서, AnyMatch™알고리즘, 스텝모터 시스템을 탑재한
PathFINDER™는 보다 진보된 매칭을 보장해 줍니다.

Converging match (AnyMatch™) Algorithm
- 어떤 preset 에서도 매칭 가능(convergence)
- 매칭 position 근처에서 높은 매칭 안정성
- less load-dependent / dynamic gain control
Motor
- step motor system 사용
- 매칭 dead zone 의 최소화
- 높은 분해능의 stepping 기술 채용 (micro stepping technique)
RF input (Trijet™) Sensor
- 높은 정확도의 RF signal 검출 (Lock-in detection)
- 높은 선형성과 균일한 signal 특성(On board system)
- 다른 주파수에 대한 높은 독립성 (Lock-in detection)
System
- Fully digital-controlled system
Option: integrated plasma monitoring sensor
- 매쳐 내부에 플라즈마 모니터링 센서 장착 가능
- AWACS (Arc detector), Scalar probe (Vrms, Irms, Vdc) 장착 가능